Advanced RFEA for Low-Energy Ions
Vooruitgang in plasmadiagnostiek voor toekomstige halfgeleidertechnologie
Het begrijpen van laag‑energetische waterstofplasma’s is essentieel voor de prestaties en betrouwbaarheid van toekomstige EUV‑lithografiesystemen. Deze plasma’s beïnvloeden hoe materialen zich gedragen in geavanceerde chipproductie‑omgevingen, terwijl huidige meetinstrumenten hier niet specifiek voor zijn ontworpen. Dit project ontwikkelt een nieuw type Retarding Field Energy Analyzer (RFEA) dat wél geschikt is voor deze gevoelige omstandigheden. Door een nauwkeuriger en robuuster meetplatform te creëren, ondersteunt het project het bredere hightech‑ecosysteem met betere inzichten in plasmagedrag en betrouwbaardere data voor innovaties in de halfgeleiderindustrie.
Een gezamenlijke ontwikkelinspanning van TNO en ASML
Het project bouwt voort op de complementaire expertise van TNO en ASML. TNO levert diepgaande kennis op het gebied van plasmafysica, modellering en sensortechnologie, terwijl ASML inzicht biedt in EUV‑lithografie, systeemeisen en praktische engineering. Gezamenlijk ontwerpen de partners het sensorplatform, valideren ze concepten via simulaties en experimenten, en definiëren ze eisen die zowel wetenschappelijk als industrieel relevant zijn. Deze nauwe samenwerking zorgt ervoor dat de technologie wetenschappelijk solide, vervaardigbaar én afgestemd is op toekomstige lithografieroadmaps—wat de Nederlandse halfgeleidersector versterkt.
Een flexibel en toekomstbestendig meetplatform
De samenwerking resulteert in een modulair en aanpasbaar RFEA‑platform dat inzetbaar is voor uiteenlopende plasmadiagnoses. Het project levert een kennisgedreven ontwerpbenadering, ondersteund door prototypes en experimentele validatie. Hierdoor kan de sensor eenvoudig worden aangepast aan verschillende plasmacondities en nieuwe toepassingen. De resultaten ondersteunen langdurige monitoring, verbeterde procesbeheersing en bredere toepassing in zowel industrie als onderzoek. Daarmee draagt het project bij aan de concurrentiekracht en veerkracht van de Nederlandse hightech maakindustrie.