ASPEA
Atomic-Scale Processing Equipment for the Ångstrom Era
De industrie voor depositieapparatuur voor de halfgeleiderindustrie staat voor de uitdaging om zijn machines en bijbehorende bibliotheek van processen aan te passen voor het aanstaande Ångstrom-tijdperk, waar kritieke afmetingen van chips de atomaire schaal bereiken en nieuwe materialen geïntroduceerd moeten worden.
In dit project pakken we vier gerelateerde uitdagingen aan in het domein van depositieapparatuur in samenwerking met een toonaangevende wereldwijde leverancier van apparatuur voor atoomlaagdepositie. Het doel is om de toolbox voor atomic-scale processing uit te breiden in deze vier richtingen, waarbij de ontwikkeling van depositieapparatuur voor de volgende sprong in het miniaturiseren van geavanceerde chiptechnologie wordt gefaciliteerd.