Parametric Nonlinear Regression Model-based Feedforward control of semiconductor Bonding Equipment

In dit project zullen geavanceerde Multiple-input, Multiple-output (MIMO) feedforward motion control-algoritmen worden ontwikkeld voor ASMPT halfgeleiderverbindingsapparatuur die machinegedrag compenseert dat doorgaans niet wordt vastgelegd door de bestaande feedforwards, zoals kabeldynamiek, framedynamiek, wrijving, niet-lineariteiten van motoraansturingen, enz. Deze geavanceerde feedforward-algoritmen zouden gebaseerd kunnen zijn op niet-lineaire regressie (NR)-modellen die zullen dienen als aanvullingen op de bestaande feedforward-controlewetten. De ontwikkelde MIMO NR-modelleringsmethode zal worden toegepast in MIMO feedforward motion control van een ASMPT-bondermachine, zoals een wire- of die-bonder bij het ASMPT Centre of Competency in Beuningen.