VASF
Vibro-Acoustic Substructuring Framework
Microchips worden geproduceerd in lithografiemachines. De kleinste details in deze microchips zijn in de orde grootte van nanometers. Trillingen, zowel extern als intern geïnduceerd, beïnvloeden daarom in grote mate het vermogen van de machine om een dergelijke nauwkeurigheid te halen.
Dit project richt zich op een strategie om de vibro-akoestische responsie van lithografiemachines te simuleren met behulp van substructuren. In deze strategie worden meerdere nauwkeurige, maar rekenkundig niet kostbare, vibro-akoestische modellen gekoppeld tot een model van de gehele machine. Het voordeel van een dergelijk model is een noodzakelijke vermindering van de complexiteit en rekentijd, aangezien het direct simuleren met een model van de gehele machine niet haalbaar is.